后续产品

名称 产品介绍 系列 类别
SFC5300
质量流量控制器(成本敏感、大批量OEM应用) SFC5300 质量流量控制器

规范

质量流量
准确度
±0.2sccm ± 2% SP
±0.2sccm ± 2% SP
最大工作压力
5
5 bar
校准
Air, He, H2 and Ar
Air, He, H2 and Ar flow
流体连接器端口
Downmount
下置式安装
Generic
电源电压
14.25 - 15.25
14.25 - 15.25 V
最大供应电流
330000
330000 uA
接口
RS485
RS485
尺寸 (长x宽x高)
70 x 25 x 73
70 x 25 x 73 mm³

技术文档下载

名称 类型 日期 文件 规模
Datasheet SFC3000 (end of life)

11/2008

File

152.8 KB

数据表 11/2008 PDF 152.8 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

File

202.9 KB

应用说明 08/2022 PDF 202.9 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

File

347.8 KB

应用说明 11/2023 PDF 347.8 KB
REACH and RoHS declaration SFC

02/2024

File

84.6 KB

证明书 02/2024 PDF 84.6 KB
Mass flow controllers brochure

11/2023

File

868.7 KB

传单 11/2023 PDF 868.7 KB

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