规格

质量流量
精确度
±0.2sccm ± 2% SP
最大工作压
5
bar
校准
Air, He, H2 和Ar
flow
流体连接器端口
Downmount
通用
电源电压
14.25 - 15.25
V
最大供电电流
330000
uA
接口
RS485
封装尺寸 (长x宽x高)
70 x 25 x 73
mm³

技术下载

姓名
类型
日期
文件
尺寸
Datasheet SFC3000
数据表
11/2008
PDF
152.8 KB
Mean time between failures analysis
应用说明
08/2022
PDF
202.9 KB
Selection guide mass flow controllers
应用说明
01/2023
PDF
350.2 KB
Mass flow controllers brochure
传单
11/2022
PDF
451.9 KB
Product flyer SFC PV applications
传单
02/2013
PDF
543.4 KB
REACH and RoHS declaration SFC
证明书
07/2022
PDF
95.0 KB

质量流量控制器SFC3000可在很宽范围提供气体流量快速准确的控制。其高精度和快速稳定时间主要依赖创新的CMOSens®技术。经校准和温度补偿的数字传感器信号,直接转换成一个用于控制阀门的数字信号。

SFC3000是一个针对大批量OEM应用的小型、数字质量流量控制器。其优异的稳定性和可重复性使其成为了分析仪器的理想选择。不同气体类型和控制范围可通过软件进行校准与切换。

产品印象

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