后续产品
| 名称 | 产品介绍 | 系列 | 类别 |
|---|---|---|---|
 SFC5300 | 质量流量控制器（成本敏感、大批量OEM应用） | SFC5300 | 质量流量控制器 |
规范
| 质量流量 | |||
|---|---|---|---|
| 准确度
±0.2sccm ± 2% SP
| ±0.2sccm ± 2% SP | ||
| 最大工作压力
5
| 5 | bar | |
| 校准
Air, He, H2 and Ar
| Air, He, H2 and Ar | flow | |
| 流体连接器端口
Downmount
| 下置式安装 |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 电源电压
14.25 - 15.25
| 14.25 - 15.25 | V | |
| 最大供应电流
330000
| 330000 | uA | |
| 接口
RS485
| RS485 | ||
| 尺寸 (长x宽x高)
70 x 25 x 73
| 70 x 25 x 73 | mm³ |
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