网站和语言
旧版SFC5300质量流量控制器
规格
质量流量
精确度
±0.2sccm ± 2% SP
最大工作压
5
bar
校准
Air, He, H2 和Ar
flow
流体连接器端口
Downmount
通用
电源电压
14.25 - 15.25
V
最大供电电流
330000
uA
接口
RS485
封装尺寸 (长x宽x高)
70 x 25 x 73
mm³
技术下载
姓名
类型
日期
文件
尺寸