- 100slm~50sccmフルスケールに及ぶ流量範囲
- Swagelokやダウンマウントなどの接続オプション
- デジタルとアナログのインターフェース
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製品
ゼロ点ドリフトの無い長期安定性を備えた信頼性のあるセンサーで、素早く安定したガスフローを測定できます。
センシリオンは、様々な用途におけるフローセンサーのマーケットリーダーです。長年の経験により、当社は医療用および産業用ソリューションの開発において良きパートナーとなりました。
ガスフロー測定用の熱量測定センサーは、Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) です。センサー素子は、信号処理電子装置を備えたチップに組み込まれています。
CMOSens®テクノロジー