マスフロー | |||
---|---|---|---|
フルスケール流量
10
| 10 | slm | |
フルスケール流量
10000
| 10000 | sccm | |
精度
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
最高使用圧力
10
| 10 | bar | |
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O | flow | |
流体コネクタポート
Legris
| Legris |
Generic | |||
---|---|---|---|
供給電圧
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
平均供給電流
35000
| 35000 | uA | |
最大供給電流
50000
| 50000 | uA | |
インターフェイス
Device net, RS485
| デバイスネット,RS485 | ||
サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
| 105 x 38.5 x 90.5 | mm³ |
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