仕様
| マスフロー | |||
|---|---|---|---|
| フルスケール流量
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm
| 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm | slm | |
| フルスケール流量
20 and 50 and 100 sccm
| 20 and 50 and 100 sccm | sccm | |
| 精度
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
| 最高使用圧力
5
| 5 | bar | |
| キャリブレーション
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow
| Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow | flow |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| 供給電圧
14 - 26
| 14 - 26 | V | |
| 平均供給電流
50000
| 50000 | uA | |
| 最大供給電流
320000
| 320000 | uA | |
| インターフェイス
RS485
| RS485 | ||
| サイズ (LxWxH)
101.1 x 24.4 x 91
| 101.1 x 24.4 x 91 | mm³ |
技術ダウンロード
センサーの評価
このセンサーを評価するために、以下の製品を購入します。
| 名称 | 説明 | シリーズ | カテゴリ |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | SFCおよびSFM評価キットSFC5x00、SFM5x00, SFC6xxx, SFM6xxx | EK-F5x | マスフローコントローラー |
各ビューワーソフトをダウンロードして、測定を開始します
ダウンロードセンターへ評価キットでセンサーのテストが簡単に始められます
開始までの流れ
アプリケーション用のスマートセンサー
センシリオンのセンサーソリューションは、幅広いアプリケーションと市場で使用されています。当社の信頼性の高い環境センサーとフローセンサーは、エネルギー効率を改善し、健康を増進し、安全性と快適性を確保します。