SFM5500-0.5slm
Hochdruck-Massendurchflussmesser für mehrere Gase, 0.5slm
Spezifikation
| Massenfluss | |||
|---|---|---|---|
| Skalenendwert Durchflussrate
0.5
| 0.5 | slm | |
| Skalenendwert Durchflussrate
500
| 500 | sccm | |
| Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
| 0.08% FS or 0.8% SP | ||
| Maximaler Betriebsdruck
10
| 10 | bar | |
| Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O | flow | |
| Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Legris
| Legris |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| Versorgungsspannung
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| Durchschnittlicher Versorgungsstrom
35000
| 35000 | uA | |
| Max. Versorgungsstrom
50000
| 50000 | uA | |
| Schnittstellen
Device net, RS485
| Device net,RS485 | ||
| Grösse (LxBxH)
105 x 38.5 x 90.5
| 105 x 38.5 x 90.5 | mm³ |
Technischer Download
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| Name | Beschreibung | Serien | Kategorie |
|---|---|---|---|
 EK-F5x | Evaluationskit für SFC5xxx und SFC6xxx Massenflussregler | EK-F5x | Massenflussregler |
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