Massenfluss | |||
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Skalenendwert Durchflussrate
2, 5, 20 and 50
| 2, 5, 20 and 50 | slm | |
Skalenendwert Durchflussrate
500
| 500 | sccm | |
Genauigkeit
0.2% FS or 2% SP
| 0.2% FS or 2% SP | ||
Maximaler Betriebsdruck
10
| 10 | bar | |
Kalibrierung
Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂ and other non-aggressive gasses
| Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂ and other non-aggressive gasses | flow | |
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Push-in 6mm, downmount
| Push-in 6mm, downmount |
Generic | |||
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Versorgungsspannung
22.8 - 25.2
| 22.8 - 25.2 | V | |
Max. Versorgungsstrom
210
| 210 | mA | |
Schnittstellen
Analog voltage, I²C, RS485
| Analoger Spannungsausgang,I²C,RS485 | ||
Grösse (LxBxH)
102 x 45 x 20
| 102 x 45 x 20 | mm³ |
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Name | Beschreibung | Serien | Kategorie |
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EK-F5x | Evaluationskit für SFC5xxx und SFC6xxx Massenflussregler | EK-F5x | Massenflussregler |
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