熱式測定の原理: 最良のH₂対応ガスメーターの選択

図1a:MEMSベースの熱量センサー素子
図1b
図1c
図2a:フローセンサーを設置した状態のガスメータープロトタイプ筐体の内部
図2b:測定の設定の模式図
表1:検査用ガスの組成。
図3:フローセンサー5個の参照ガスフローでの相対測定誤差
図4a:フローセンサー5個の参照ガスフローでの相対測定誤差(100% H₂)
図4b:フローセンサー5個の参照ガスフローでの相対測定誤差(98% H₂ + 2% CO₂)

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