液体フローメーター「SLQ-QT500」は、水または炭化水素(アルコール、溶剤、オイル、燃料、接着剤)系液体に対して最大120ml/minの流量範囲が測定可能で、粒子を含んだ液体や高粘度の液体の測定に優れています。SCC1センサーケーブルの1つと組み合わせて半導体業界の要求の厳しいコーティングシステムや、他業界の様々なディスペンシングおよび液体フローシステムに容易に組み込むことができます。

液体フローメーター「SLQ-QT500」の高い感度と測定スピードは、高速ディスペンスプロセスの監視と制御に新たな付加価値を提供します。 センサーには、水およびイソプロパノール(IPA)の校正値が格納されています。熱式測定の原理と大きな配管内径のため、液体フローメーター「SLQ-QT500」の測定性能は粘度そのものに左右されないため、厳密な粘度の上限または下限の制限はありません(例えば、動粘度1000mm2/sまで可能)。さらに、石英ガラス管を研磨しない限り、小さな粒子を含む液体の測定にも最適です。

接液部には、継手にPFAと内部流路に石英ガラスが使用されています。当社の全ての液体フローメーターと同様に、この信頼性の高い製品のセンサー内部の流路は直線経路で、可動部品が一切ありません。