仕様

マスフロー
フルスケール流量
2
2 slm
フルスケール流量
2000
2000 sccm
精度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最高使用圧力
10
10 bar
キャリブレーション
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
流体コネクタポート
Legris
Legris
Generic
供給電圧
14 - 26.4
14 - 26.4 V
平均供給電流
35000
35000 uA
最大供給電流
50000
50000 uA
インターフェイス
Device net, RS485
デバイスネット,RS485
サイズ (LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
105 x 38.5 x 90.5 mm³

技術ダウンロード

名称 種類 日付 ファイル名 サイズ
Datasheet SFC5500/SFM5500

02/2024

ファイル

975.3 KB

データシート 02/2024 PDF 975.3 KB
Compatible fittings SFC5500/SFM5500

10/2022

ファイル

193.4 KB

アプリケーションノート 10/2022 PDF 193.4 KB
STEP file SFM5500-50sccm/0.5slm/2slm/10slm

10/2022

ファイル

3.4 MB

CAD 10/2022 STEP 3.4 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

ファイル

1.1 MB

ビューアソフト 04/2022 ZIP 1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

ファイル

869.9 KB

アプリケーションノート 07/2023 PDF 869.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

ファイル

293.7 KB

アプリケーションノート 09/2021 PDF 293.7 KB
Reference and flow conversions calculator

10/2021

ファイル

30.3 KB

アプリケーションノート 10/2021 XLSX 30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

ファイル

665.2 KB

アプリケーションノート 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

ファイル

369.3 KB

ユーザーガイド 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

ファイル

1002.3 KB

ユーザーガイド 07/2022 PDF 1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

ファイル

796.4 KB

ユーザーガイド 03/2023 PDF 796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.3 MB

ユーザーガイド 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

ソフトウェア 03/2022 リンク -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

ファイル

-

ソフトウェア 06/2022 ファイル名 -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

ファイル

1.7 MB

ソフトウェア 03/2022 ZIP 1.7 MB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

02/2024

ファイル

88.9 KB

証明書 02/2024 PDF 88.9 KB
Mass flow controllers brochure chinese

02/2024

ファイル

606.2 KB

フライヤー 02/2024 PDF 606.2 KB
Overview of Sensirion gas flow meters

01/2024

ファイル

1013.9 KB

フライヤー 01/2024 PDF 1013.9 KB

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