SFM5500-10slm

複数ガス用高圧マスフローメータ、10slm

仕様

質量流量
フルスケール流量
10
slm
フルスケール流量
10000
sccm
標準精度
0.08% FS or 0.8% SP
最大作業圧力
10
bar
調整
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4およびN2O
flow
流体コネクタポート
Legris
ジェネリック
供給電圧
14 - 26.4
V
平均供給電流
35000
uA
最大供給電流
50000
uA
インターフェース
デバイスネット, RS485
パッケージサイズ(LxWxH)
105 x 38.5 x 90.5
mm³

テクニカルダウンロード

名前
タイプ
日付
ファイル
サイズ
Datasheet SFC5500/SFM5500
データシート
09/2022
PDF
1.0 MB
Compatible fittings SFC5500/SFM5500
アプリケーションノート
10/2022
PDF
193.4 KB
STEP file SFM5500-50sccm/0.5slm/2slm/10slm
CAD
10/2022
STEP
3.4 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
ビューアソフト
04/2022
ZIP
1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
アプリケーションノート
08/2022
PDF
994.5 KB
Reference and flow conversions
アプリケーションノート
09/2021
PDF
293.7 KB
Reference and flow conversions calculator
アプリケーションノート
10/2021
XLSX
30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
アプリケーションノート
02/2022
PDF
665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
09/2021
PDF
669.9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
07/2022
PDF
1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
ユーザーガイド
03/2022
PDF
1.3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
06/2022
MSI
1.7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
ソフトウェア
03/2022
ZIP
1.7 MB
Engineering guide SFM
ユーザーガイド
01/2021
PDF
592.1 KB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM
証明書
07/2022
PDF
99.6 KB
Gas flow sensors brochure
フライヤー
08/2021
PDF
1013.9 KB

「SFM5500」マスフローメーターシリーズは、ガスフロー測定においてセンシリオンが歩んできた20年間の優れた実績の集大成です。マイクロ熱量測定原理に基づいて、センシリオンの実績のあるCMOSens® MEMS技術を活用しています。これにより、当社はクラス最高のパフォーマンスと優れた信頼性を備えた先進的なマスフローメーターを作ることができました。本製品は市場に出ているその他機器とは異なり、ドリフトすることがなく、稼働中に再校正する必要がありません。

CMOSens® MEMSフローセンサーが実現する非常に広い測定範囲によって、「SFM5500」シリーズは一台の機器で従来のマスフローメーターの複数の流量範囲に対応できます。金属ボディーを採用しているため、さらに高圧耐性を可能にしています。他社製品と比較して、SFM5500は小流量(最大50 sccmフルスケールフロー)、および大流量のガスフローに適しています。マルチガス校正と交換可能な継ぎ手を組み合わせた「SFM5500」シリーズは、医療、分析、産業の業界の用途に適した標準の既製品として入手可能な市場初のマスフローメーターです。この汎用性により、「SFM5500」シリーズはカタログ販売を通じて購入できます。

「SFM5500」シリーズは、センシリオンのクラス最高のマスフローメーターのSFM5xxxファミリーを補完し、「SFM5400」と同等の最高性能を提供するので、最高の精度、最高速度、および最も広いダイナミックレンジが必要とされる幅広いアプリケーションに適しています。ただし、様々な機能構成が選択可能な「SFM5400」シリーズとは異なり、「SFM5500」シリーズマスフローメーターはあらかじめ決められた複数の組み合わせからお選びいただきます。その他のガス、流量範囲、適合性、インターフェースが必要な場合は、「SFM5400」またはセンシリオンの量産OEMプロジェクト用の最も費用効果の高いソリューションである「SFM5300」をご確認ください。

マスフローコントローラーをお探しの方には、バルブ付き「SFM5500」の姉妹製品の「SFC5500」があります。「SFC5500」も同等の優れたパフォーマンスを発揮します。

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