フルスケール流量
(H2O)
600000
ul/min
標準精度
(H2O)
5
%
フルスケール流量
(IPA)
600000
ul/min
標準精度
(IPA)
10
%
パッケージサイズ（LxWxH）
48 x 15.5 x 8.6
mm³