用途

センシリオンのセンサーソリューションは、現代の半導体産業において極めて精密かつ信頼性の高い製造プロセスを実現します。これにより、歩留まりが向上し、過剰、無駄、コストが大幅に削減されます。

半導体

フォトレジスト薬注: フォトレジストを塗布する際の正確な投与

半導体業界では、フォトレジストをウェーハに正確に塗布する工程が重要です。投与量が不十分だと収量の損失につながりますが、過剰だとコストが非常に高くなります。
半導体

表面コーティング/処理: ワイドダイナミックレンジの高速制御

真空堆積やDRIE(深掘り反応性イオンエッチング)などの最新の半導体処理技術では、さまざまなガスを高速で制御する必要があります。当社のマスフローコントローラは、プロセスガスの非常に高速な制御または切り替えを可能にし、高品質で高速を可能にします。

専門性

DRIE

DRIEを使用した半導体処理の分野の大手サプライヤーは、長年にわたってセンシリオンのマスフローコントローラーを使用しています。

グローバル

世界中の主要な半導体企業は、フォトレジストの投与に当社の液体フローセンサーを利用しています。