Der Massenflussmesser SLQ-QT500 bietet einen Messbereich von bis zu 120 ml/min für wasser- oder kohlenwasserstoffbasierte Flüssigkeiten wie Alkohole, Lösungsmittel, Öle, Brennstoffe oder Klebstoffe. Für Flüssigkeiten von hoher Viskosität ist dieser Sensor Ihre erste Wahl. In Kombination mit einem SCC1-Sensorkabel lässt sich der SLQ-QT500 einfach in anspruchsvolle Beschichtungssysteme in der Halbleiterindustrie, aber auch in eine breite Palette von Dosier- und Flüssigkeitssystemen in anderen Bereichen integrieren.

Dank schneller Messungen und hoher Sensitivität eröffnen sich neue Möglichkeiten für die Überwachung und Steuerung schneller Dosierprozesse. Der Sensor ist mit einer Kalibrierung für H2O und Isopropanol (IPA) erhältlich. Aufgrund des mikrothermischen Messprinzips und des grossen Innendurchmessers ist die Messleistung des SLQ-QT500 nicht von der Viskosität selbst abhängig, sodass keine strikten Ober- oder Untergrenzen für die Viskosität bestehen (z. B. kinematische Viskositäten von bis zu ~1000 mm2/s). Der Sensor ist zudem ideal für Flüssigkeiten geeignet, die kleine Partikel enthalten. Einzige Voraussetzung ist, dass diese Partikel keinen Abrieb an der Quarzglaskappilare bewirken.

Als benetzte Teile kommen nur PFA-Schläuche als fluidischer Anschluss und Quarzglas für den Durchflusskanal zum Einsatz. Wie alle anderen Massenflussmesser von Sensirion verfügt dieser zuverlässige Sensor über keinerlei bewegliche Teile und misst den Durchfluss durch die Wand des geraden Flusskanals hindurch.