SFM5460

High-precision, configurable, fast, gas flow sensor for OEM

Spezifikation

Massenfluss
Maximalfluss
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 und 10 slm
slm
Maximalfluss
20 und 50 and 100 sccm
sccm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
Maximaler Überdruck
5
bar
Kalibration
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 und N2 and O2 flow
flow
Generisch
Eingangsspannungsbereich
14 - 26
V
Mittlerer Stromverbrauch
50000
uA
Maximaler Stromverbrauch
320000
uA
Signalausgänge
RS485
Verpackungsgrösse (LxBxH)
101.1 x 24.4 x 91
mm³

Technische Downloads

Namn
Typ
Datum
Datei
Grösse
Datasheet SFC5460/SFM5460
Datenblatt
09/2022
PDF
771,0 KB
Mounting Plate SFX54xx
CAD
07/2022
STEP
168,2 KB
STEP file downmount SFC5460/SFM5460
CAD
08/2022
STEP
25,2 MB
STEP file SFM5400
CAD
07/2022
ZIP
3,7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
Viewer Software
04/2022
ZIP
1,1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
Anwendungshinweis
08/2022
PDF
994,5 KB
Reference and flow conversions
Anwendungshinweis
09/2021
PDF
293,7 KB
Reference and flow conversions calculator
Anwendungshinweis
10/2021
XLSX
30,3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
Anwendungshinweis
02/2022
PDF
665,2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
09/2021
PDF
669,9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
07/2022
PDF
1002,3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
03/2022
PDF
1,3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
Software
06/2022
MSI
1,7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
Software
03/2022
ZIP
1,7 MB
Engineering guide SFM
Bedienungsanleitung
01/2021
PDF
592,1 KB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM
Zertifikat
07/2022
PDF
99,6 KB
Product flyer SFM
Flyer
08/2021
PDF
1013,9 KB

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