SFM5400

Hochpräziser, konfigurierbarer, schneller Multi-Gas-Sensor

Spezifikation

Massenfluss
Maximalfluss
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10, 20, 50 und 100
slm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
Maximaler Überdruck
10
bar
Kalibration
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 und C4F8
flow
Flulidische Anschlüsse
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Generisch
Eingangsspannungsbereich
14 - 26.4
V
Mittlerer Stromverbrauch
50000
uA
Maximaler Stromverbrauch
320000
uA
Signalausgänge
Analoger Spannungsausgang, Analog mA, Device Net, IO-Link, RS485
Verpackungsgrösse (LxBxH)
101.1 x 24.4 x 91
mm³

Technische Downloads

Namn
Typ
Datum
Datei
Grösse
Datasheet SFC5400/SFM5400
Datenblatt
09/2022
PDF
798,5 KB
Mounting Plate SFX54xx
CAD
07/2022
STEP
168,2 KB
STEP file SFC5400
CAD
10/2021
ZIP
3,2 MB
STEP file SFM5400
CAD
07/2022
ZIP
3,7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
Viewer Software
04/2022
ZIP
1,1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
Anwendungshinweis
08/2022
PDF
994,5 KB
Reference and flow conversions
Anwendungshinweis
09/2021
PDF
293,7 KB
Reference and flow conversions calculator
Anwendungshinweis
10/2021
XLSX
30,3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
Anwendungshinweis
02/2022
PDF
665,2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
09/2021
PDF
669,9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
07/2022
PDF
1002,3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
03/2022
PDF
1,3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
Software
06/2022
MSI
1,7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
Software
03/2022
ZIP
1,7 MB
Engineering guide SFM
Bedienungsanleitung
01/2021
PDF
592,1 KB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM
Zertifikat
07/2022
PDF
99,6 KB
Product flyer SFM
Flyer
08/2021
PDF
1013,9 KB

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Der Massenflussmesser SFM5400 misst Massenfluss mit hoher Genauigkeit (Fehler < 1%), Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit und besticht durch einen grossen dynamischen Messbereich. Der SFM5400 ist aus Metall gefertigt und hochgradig konfigurierbar. Er ist mit unterschiedlichsten fluidischen Anschlüssen und verschiedenen Schnittstellen erhältlich und misst maximale Flussraten zwischen 50 sccm und 100 slm. Das Sensorsignal wird direkt auf dem Chip in ein digitales, vollständig kalibriertes und temperaturkompensiertes Signal umgewandelt. Es können mehrere Gaskalibration auf einem Flussmesser hinterlegt werden. Zusätzlich kann das Gerät überprüfen, ob die aktivierte Gaskalibration zum real vorhandenen Gas passt. Die Vielseitigkeit macht den SFM5400 zur idealen Lösung für Anwendungen in der Industrie und Medizin.

Die herausragende Leistung der Massenmessers SFM5400 basiert auf der innovativen CMOSens® Technologie, die das hochpräzise Sensorelement zusammen mit der analogen und digitalen Auswertelektronik auf einem CMOS Siliziumchip vereint. Kombiniert mit hochwertigen Materialien entsteht so dieser langzeitstabile, äusserst schnelle und hochpräzise Massenflussmesser.

Der Massenflussmesser SFM5400 ist die ventillose Version des Massenflussreglers SFC5400. Der Massenflussregler SFC5400 verfügt über dieselben Leistungsmerkmale wie der Massenflussmesser und kommt in ähnlichen Anwendungen zum Einsatz. Die beiden Sensorprodukte SFM5400 und SFC5400 lassen sich ideal kombinieren. Weitere Informationen und detaillierte Spezifikationen zum Massenregler finden Sie auf der SFC5400 Produktseite.

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