SFM5330

High-precision, configurable, fast, digital flow sensor for OEM

Kontakt sales

Spezifikation

Massenfluss
Skalenendwert Durchflussrate
1, 2 and 5
1, 2 and 5 slm
Skalenendwert Durchflussrate
50, 100, 200 and 500
50, 100, 200 and 500 sccm
Genauigkeit
0.2%FS or 2% SP
0.2%FS or 2% SP
Maximaler Betriebsdruck
10
10 bar
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Downmount
Abwärtsmontage
Generic
Versorgungsspannung
14 - 26.4
14 - 26.4 V
Durchschnittlicher Versorgungsstrom
50000
50000 uA
Max. Versorgungsstrom
320000
320000 uA
Schnittstellen
RS485
RS485
Grösse (LxBxH)
34 x 25 x 62.2
34 x 25 x 62.2 mm³

Downloads

Name Typ Datum Datei Größe
Datasheet SFC5300/SFM5300 & SFC5330/SFM5330

05/2023

Datei

895.6 KB

Datenblatt 05/2023 PDF 895.6 KB
Mounting plate SFX53xx

07/2022

Datei

196.0 KB

Drawings/CAD 07/2022 STEP 196.0 KB
STEP file SFM5300

07/2022

Datei

5.4 MB

Drawings/CAD 07/2022 ZIP 5.4 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

Datei

869.9 KB

Anwendungshinweis 07/2023 PDF 869.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

Datei

293.7 KB

Anwendungshinweis 09/2021 PDF 293.7 KB
Reference and flow conversions calculator

10/2021

Datei

30.3 KB

Anwendungshinweis 10/2021 XLSX 30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

Datei

665.2 KB

Anwendungshinweis 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

Datei

369.3 KB

Bedienungsanleitung 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

Datei

1002.3 KB

Bedienungsanleitung 07/2022 PDF 1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

Datei

796.4 KB

Bedienungsanleitung 03/2023 PDF 796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Datei

1.3 MB

Bedienungsanleitung 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

Software 03/2022 Link -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

Datei

-

Software 06/2022 Datei -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Datei

1.7 MB

Software 03/2022 ZIP 1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

Datei

1.1 MB

Software 04/2022 ZIP 1.1 MB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

07/2024

Datei

98.0 KB

Zertifikat 07/2024 PDF 98.0 KB
Mass flow controllers brochure chinese

06/2024

Datei

633.9 KB

Flyer 06/2024 PDF 633.9 KB
Overview of Sensirion gas flow meters

01/2024

Datei

1013.9 KB

Flyer 01/2024 PDF 1013.9 KB

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Name Beschreibung Serien Kategorie
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Evaluationskit für SFC5xxx und SFC6xxx Massenflussregler EK-F5x Massenflussregler

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