SFM5330

High-precision, configurable, fast, digital flow sensor for OEM

Spezifikation

Massenfluss
Maximalfluss
1, 2 und 5
slm
Maximalfluss
50, 100, 200 und 500
sccm
Genauigkeit
0.2%FS or 2% SP
Maximaler Überdruck
10
bar
Kalibration
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 und C4F8
flow
Flulidische Anschlüsse
Downmount
Generisch
Eingangsspannungsbereich
14 - 26.4
V
Mittlerer Stromverbrauch
50000
uA
Maximaler Stromverbrauch
320000
uA
Signalausgänge
RS485
Verpackungsgrösse (LxBxH)
34 x 25 x 62.2
mm³

Technische Downloads

Namn
Typ
Datum
Datei
Grösse
Datasheet SFC5300/SFM5300 & SFC5330/SFM5330
Datenblatt
08/2021
PDF
1,0 MB
Mounting plate SFX53xx
CAD
07/2022
STEP
196,0 KB
STEP file SFM5300
CAD
07/2022
ZIP
5,4 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
Viewer Software
04/2022
ZIP
1,1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
Anwendungshinweis
08/2022
PDF
994,5 KB
Reference and flow conversions
Anwendungshinweis
09/2021
PDF
293,7 KB
Reference and flow conversions calculator
Anwendungshinweis
10/2021
XLSX
30,3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
Anwendungshinweis
02/2022
PDF
665,2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
09/2021
PDF
669,9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
07/2022
PDF
1002,3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
03/2022
PDF
1,3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
Software
06/2022
MSI
1,7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
Software
03/2022
ZIP
1,7 MB
Engineering guide SFM
Bedienungsanleitung
01/2021
PDF
592,1 KB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM
Zertifikat
07/2022
PDF
99,6 KB
Product flyer SFM
Flyer
08/2021
PDF
1013,9 KB

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