Spezifikation

Massenfluss
Skalenendwert Durchflussrate
0.5
0.5 slm
Skalenendwert Durchflussrate
500
500 sccm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
Maximaler Betriebsdruck
5
5 bar
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Legris
Legris
Generic
Versorgungsspannung
14 - 26.4
14 - 26.4 V
Durchschnittlicher Versorgungsstrom
75000
75000 uA
Max. Versorgungsstrom
120000
120000 uA
Schnittstellen
Device net, RS485
Device net,RS485
Grösse (LxBxH)
115 x 24.6 x 91
115 x 24.6 x 91 mm³

Technischer Download

Name Typ Datum Datei Größe
Datasheet SFC5500/SFM5500

02/2024

Datei

975.3 KB

Datenblatt 02/2024 PDF 975.3 KB
Compatible fittings SFC5500/SFM5500

10/2022

Datei

193.4 KB

Anwendungshinweis 10/2022 PDF 193.4 KB
STEP file SFC5500-50sccm/0.5slm/2slm/10slm

04/2022

Datei

3.4 MB

CAD 04/2022 STEP 3.4 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

Datei

1.1 MB

Viewer Software 04/2022 ZIP 1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

Datei

869.9 KB

Anwendungshinweis 07/2023 PDF 869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

Datei

202.9 KB

Anwendungshinweis 08/2022 PDF 202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

Datei

293.7 KB

Anwendungshinweis 09/2021 PDF 293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

Datei

347.8 KB

Anwendungshinweis 11/2023 PDF 347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

Datei

665.2 KB

Anwendungshinweis 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

Datei

369.3 KB

Bedienungsanleitung 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

Datei

1002.3 KB

Bedienungsanleitung 07/2022 PDF 1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

Datei

796.4 KB

Bedienungsanleitung 03/2023 PDF 796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Datei

1.3 MB

Bedienungsanleitung 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

Software 03/2022 Link -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

Datei

-

Software 06/2022 Datei -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Datei

1.7 MB

Software 03/2022 ZIP 1.7 MB
REACH and RoHS declaration SFC

02/2024

Datei

84.6 KB

Zertifikat 02/2024 PDF 84.6 KB
Mass flow controllers brochure

11/2023

Datei

868.7 KB

Flyer 11/2023 PDF 868.7 KB

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