SFC5400

Vielseitiger Massenflussregler

Spezifikation

Massenfluss
Maximalfluss
1, 2, 5, 10, 20, 50 und 100
slm
Maximalfluss
50, 100, 200 und 500
sccm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
Maximaler Überdruck
5
bar
Kalibration
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 und C4F8
flow
Flulidische Anschlüsse
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Generisch
Eingangsspannungsbereich
14 - 26.4
V
Mittlerer Stromverbrauch
50000
uA
Maximaler Stromverbrauch
320000
uA
Signalausgänge
Analoger Spannungsausgang, Analog mA, Device Net, IO-Link, RS485
Verpackungsgrösse (LxBxH)
101.1 x 24.4 x 91
mm³

Technische Downloads

Namn
Typ
Datum
Datei
Grösse
Datasheet SFC5400/SFM5400
Datenblatt
09/2022
PDF
798,5 KB
STEP file SFC5400
CAD
10/2021
ZIP
3,2 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx
Viewer Software
04/2022
ZIP
1,1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx
Anwendungshinweis
08/2022
PDF
994,5 KB
Mean time between failures analysis
Anwendungshinweis
08/2022
PDF
202,9 KB
Reference and flow conversions
Anwendungshinweis
09/2021
PDF
293,7 KB
Selection guide mass flow controllers
Anwendungshinweis
07/2022
PDF
255,6 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx
Anwendungshinweis
02/2022
PDF
665,2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
09/2021
PDF
669,9 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
07/2022
PDF
1002,3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx
Bedienungsanleitung
03/2022
PDF
1,3 MB
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx
Software
06/2022
MSI
1,7 MB
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx
Software
03/2022
ZIP
1,7 MB
Mounting Plate SFX54xx
CAD
07/2022
STEP
168,2 KB
Mass Flow Controllers brochure
Flyer
11/2022
PDF
582,5 KB
Product flyer SFC PV applications
Flyer
02/2013
PDF
543,4 KB
REACH and RoHS declaration SFC
Zertifikat
07/2022
PDF
95,0 KB

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Der Massenflussregler SFC5400 misst und kontrolliert Massenfluss mit hoher Genauigkeit, Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit und besticht durch einen grossen dynamischen Messbereich. Der SFC5400 ist hochgradig konfigurierbar und das Gehäuse aus Metall gefertigt. Weiter ist der Regler mit verschiedenen Schnittstellen und unterschiedlichsten fluidischen Anschlüssen erhältlich und misst maximale Flussraten von 50 sccm bis 200 slm. Das Sensorsignal wird direkt auf dem Chip in ein digitales, vollständig kalibriertes und temperaturkompensiertes Signal umgewandelt. Es können mehrere Gaskalibration auf einem Flussregler hinterlegt werden. Zusätzlich kann das Gerät überprüfen, ob die aktivierte Gaskalibration zum real vorhandenen Gas passt. Die Vielseitigkeit macht den SFC5400 zur idealen Lösung für Anwendungen in der Industrie und Medizin.

Wie alle Sensorprodukte von Sensirion basiert auch der Massenflussregler SFC5400 auf der innovativen CMOSens® Technologie, die das hochpräzise Sensorelement zusammen mit der analogen und digitalen Auswertelektronik auf einem CMOS Siliziumchip vereint und dadurch eine herausragende Leistung garantiert. Kombiniert mit hochwertigen Materialien entsteht so dieser langzeitstabile, äusserst schnelle und hochpräzise Massenflussregler.

Der Massenflussregler SFC5400 ist auch als ventillose Version erhältlich. Dieser Massenflussmesser SFM5400 verfügt über dieselben Leistungsmerkmale wie der Massenflussregler und kommt in ähnlichen Anwendungen zum Einsatz. Die beiden Sensorprodukte SFC5400 und SFM5400 lassen sich ideal kombinieren. Weitere Informationen und detaillierte Spezifikationen zum Massenmesser finden Sie auf der SFM5400 Website.

Für grosse Kundenprojekte passen wir den Massenflussregler SFC5400 an ihre speziellen Bedürfnisse an.

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