SFC5400

Vielseitiger Massenflussregler

Spezifikation

Massenfluss
Skalenendwert Durchflussrate
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100
1, 2, 5, 10, 20, 50 and 100 slm
Skalenendwert Durchflussrate
50, 100, 200 and 500
50, 100, 200 and 500 sccm
Genauigkeit
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
Maximaler Betriebsdruck
5
5 bar
Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 flow
Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Swagelock, VCO, VCR, Downmount
Generic
Versorgungsspannung
14 - 26.4
14 - 26.4 V
Durchschnittlicher Versorgungsstrom
50000
50000 uA
Max. Versorgungsstrom
320000
320000 uA
Schnittstellen
Analog voltage, Analog current, Device net, IO link, RS485
Analoger Spannungsausgang,Analog mA,Device net,IO-link,RS485
Grösse (LxBxH)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91 mm³

Technischer Download

Name Typ Datum Datei Größe
Datasheet SFC5400/SFM5400

05/2023

Datei

798.8 KB

Datenblatt 05/2023 PDF 798.8 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

Datei

796.4 KB

Bedienungsanleitung 03/2023 PDF 796.4 KB
STEP file SFC5400

10/2021

Datei

3.2 MB

CAD 10/2021 ZIP 3.2 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

Datei

1.1 MB

Viewer Software 04/2022 ZIP 1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

Datei

869.9 KB

Anwendungshinweis 07/2023 PDF 869.9 KB
Mean time between failures analysis

08/2022

Datei

202.9 KB

Anwendungshinweis 08/2022 PDF 202.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

Datei

293.7 KB

Anwendungshinweis 09/2021 PDF 293.7 KB
Selection guide mass flow controllers

11/2023

Datei

347.8 KB

Anwendungshinweis 11/2023 PDF 347.8 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

Datei

665.2 KB

Anwendungshinweis 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

Datei

369.3 KB

Bedienungsanleitung 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

Datei

1002.3 KB

Bedienungsanleitung 07/2022 PDF 1002.3 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Datei

1.3 MB

Bedienungsanleitung 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

Software 03/2022 Link -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

Datei

-

Software 06/2022 Datei -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Datei

1.7 MB

Software 03/2022 ZIP 1.7 MB
Mounting Plate SFX54xx

07/2022

Datei

168.2 KB

CAD 07/2022 STEP 168.2 KB
REACH and RoHS declaration SFC

02/2024

Datei

84.6 KB

Zertifikat 02/2024 PDF 84.6 KB
Mass flow controllers brochure

11/2023

Datei

868.7 KB

Flyer 11/2023 PDF 868.7 KB

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