SFC5330
Kleiner MFC für kostensensible OEM-Projekte mit hohen Stückzahlen
Der Massenflussregler SFC5330 misst und kontrolliert Massenfluss mit hoher Genauigkeit, Langzeitstabilität und Wiederholbarkeit. Er zeichnet sich durch eine kompakte Bauweise und einen grossen dynamischen Messbereich aus. Das Gehäuse des SFC5330 besteht aus Metall. Der Massenflussregler SFC5330 wird als Downmount-Komponente angeschlossen und verfügt über zwei digitale Schnittstellen. Der SFC5330 ist die kompakte und kostenoptimierte Variante des Massenflussreglers SFC5300 und für kostensensitive OEM-Projekte mit hohen Stückzahlen gedacht. Die herausragende Leistung der Massenflussmessers SFC5330 basiert auf der patentierten CMOSens® Technologie, die die hochpräzise Sensorik zusammen mit der Auswertelektronik auf einem CMOS-Siliziumchip vereint. Kombiniert mit hochwertigen Materialien entsteht so der langzeitstabile, äusserst schnelle und hochpräzise Massenflussregler SFC5330. Der Massenflussregler SFC5330 ist auch als ventillose Version erhältlich. Die beiden Sensorprodukte verfügen über dieselben Leistungsmerkmale und kommen in ähnlichen Anwendungen zum Einsatz, sodass sie optimal miteinander kombiniert werden können. Für Kundenprojekte mit hohen Stückzahlen passen wir den Massenflussregler SFC5330 an die speziellen Bedürfnisse an.
Spezifikation
| Massenfluss | |||
|---|---|---|---|
| Skalenendwert Durchflussrate
1, 2 and 5
| 1, 2 and 5 | slm | |
| Skalenendwert Durchflussrate
50, 100, 200 and 500
| 50, 100, 200 and 500 | sccm | |
| Genauigkeit
0.2%FS or 2% SP
| 0.2%FS or 2% SP | ||
| Maximaler Betriebsdruck
10
| 10 | bar | |
| Kalibrierung
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8
| Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4, N2O, SF6 and C4F8 | flow | |
| Fluidische Anschlussmöglichkeiten
Downmount
| Abwärtsmontage |
| Generic | |||
|---|---|---|---|
| Versorgungsspannung
14 - 26.4
| 14 - 26.4 | V | |
| Durchschnittlicher Versorgungsstrom
50000
| 50000 | uA | |
| Max. Versorgungsstrom
320000
| 320000 | uA | |
| Schnittstellen
RS485
| RS485 | ||
| Grösse (LxBxH)
34 x 25 x 62.2
| 34 x 25 x 62.2 | mm³ |
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| Name | Beschreibung | Serien | Kategorie |
|---|---|---|---|
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