Anwendungen

Sensirions Sensorlösungen ermöglichen äusserst päzise und zuverlässige Herstellungsprozesse in der moderne Halbleiterindustrie. Damit wird die Ausbeute verbessert und Überschuss, Abfall und Kosten stark reduziert.

Halbleiter

Fotoresist-Dosierung: Präzise Dosierung bei der Auftragung von Fotolack

In der Halbleiterindustrie ist das präzise Auftragen von Fotolack auf den Wafer essenziell. Eine ungenügende Dosierung führt zu Ertragsverlusten, während ein Überschuss sehr teuer ist.
Halbleiter

Oberflächenbeschichtung /-behandlung: Schnelle Regelgeschwindigkeit für weiten dynamischen Bereich

Für moderne Halbleiterbearbeitungstechniken wie Vakuumbeschichtung und DRIE ist eine schnelle Regelung verschiedener Gase nötig. Unsere MFC erlauben ein sehr schnelles Regeln oder Wechseln zwischen den Prozessgasen und ermöglichen somit eine hohe Geschwindigkeit bei hoher Qualität.

Unsere Expertise

DRIE

Führende Anbieter im Bereich der Halbleiterverarbeitung mit DRIE vertrauen seit Jahren auf Massendurchflussregler von Sensirion.

Global

Führende Halbleiterunternehmen weltweit verlassen sich bei der Dosierung von Fotolack auf unsere Flüssigkeitsdurchflusssensoren.