查看器软件

姓名
关系
日期
类型
尺寸
EK-F5x / SFC5300 / SFC5400 / SFC5500 / SFM5xxx
04/2022
ZIP
1.1 MB

数据表

姓名
关系
日期
类型
尺寸
SFC3x00
11/2008
PDF
152.8 KB
SFC4x00
01/2012
PDF
431.2 KB
SFC5300 / SFM5300 / SFM5330
08/2021
PDF
1.0 MB
SFC5400 / SFM5400
09/2022
PDF
798.5 KB
SFC5460 / SFM5460
09/2022
PDF
771.0 KB
SFC5500 / SFC5500-0.5slm / SFC5500-10slm / SFC5500-200slm / SFC5500-2slm / SFC5500-50sccm / SFM5500-0.5slm / SFM5500-10slm / SFM5500-2slm / SFM5500-50sccm
09/2022
PDF
1.0 MB

应用说明

姓名
关系
日期
类型
尺寸
SFC5500 / SFM5500-0.5slm / SFM5500-10slm / SFM5500-2slm / SFM5500-50sccm
10/2022
PDF
193.4 KB
SFC5300 / SFC5400 / SFC5500 / SFM5xxx
08/2022
PDF
994.5 KB
SFC3x00 / SFC4x00 / SFC5300 / SFC5400 / SFC5500
08/2022
PDF
202.9 KB
SFC5300 / SFC5400 / SFC5500 / SFM3xxx / SFM3xxx-AW/D / SFM4xxx / SFM5xxx
09/2021
PDF
293.7 KB
质量流量控制器 / SFC3x00 / SFC4x00 / SFC5300 / SFC5400 / SFC5500
07/2022
PDF
255.6 KB
SFC5300 / SFC5400 / SFC5500 / SFM5xxx
02/2022
PDF
665.2 KB

用户指南

姓名
关系
日期
类型
尺寸
EK-F5x / SFC5300 / SFC5400 / SFC5500 / SFM5xxx
09/2021
PDF
669.9 KB
SFC5300 / SFC5400 / SFC5500 / SFM5xxx
07/2022
PDF
1002.3 KB
EK-F5x / SFC5300 / SFC5400 / SFC5500 / SFM5xxx
03/2022
PDF
1.3 MB

软件

姓名
关系
日期
类型
尺寸
SFC5300 / SFC5400 / SFC5500 / SFM5xxx
06/2022
MSI
1.7 MB
SFC5300 / SFC5400 / SFC5500 / SFM5xxx / EK-F5x
03/2022
ZIP
1.7 MB

CAD

姓名
关系
日期
类型
尺寸
SFC5300 / SFM5300 / SFM5330
07/2022
STEP
196.0 KB
SFC5400 / SFM5400 / SFM5460
07/2022
STEP
168.2 KB
SFC5460 / SFM5460
08/2022
STEP
25.2 MB
SFC5300
10/2021
ZIP
4.7 MB
SFC5400 / SFM5400
10/2021
ZIP
3.2 MB
SFC5500-200slm
02/2022
STEP
3.4 MB
SFC5500-0.5slm / SFC5500-10slm / SFC5500-2slm / SFC5500-50sccm
04/2022
STEP
3.4 MB

证明书

姓名
关系
日期
类型
尺寸
质量流量控制器
07/2022
PDF
95.0 KB

传单

姓名
关系
日期
类型
尺寸
SFC3x00 / SFC4x00 / SFC5300 / SFC5400 / SFC5500
11/2022
PDF
582.5 KB
SFC3x00 / SFC4x00 / SFC5300 / SFC5400 / SFC5500
02/2013
PDF
543.4 KB