热式测量原理:未来氢气燃气表的理想选择

图1a:基于微机电系统(MEMS)的量热传感器元件
图1b
图1c
图2a:燃气表样品外壳内视图,流量传感器位于燃气表出口
图2b:测试装置示意图
表1:测试气体组成
图3:五个流量传感器在参考气体流量下的相对测量误差。
图4a: Relative measurement error at the reference gas flow for five flow sensors in 100% H₂
图4b: Relative measurement error at the reference gas flow for five flow sensors in 98% H₂ + 2% CO₂

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