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用于多种气体的高压质量流量计, 2 slm
规格
质量流量
满量程流速
2
slm
满量程流速
2000
sccm
精确度
0.08% FS or 0.8% m.v
最大工作压
10
bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 和N2O
flow
流体连接器端口
Legris
通用
电源电压
14 - 26.4
V
平均电源电流
35000
μA
最大供电电流
50000
μA
接口
IO链接, ModBus, RS485
封装尺寸 (长x宽x高)
105 x 38.5 x 90.5
mm³
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姓名
类型
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文件
尺寸