规范

质量流量
满量程流速
10
10 slm
满量程流速
10000
10000 sccm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压力
10
10 bar
校准
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O
Air, O2, N2, Ar, CO2, He, H2, CH4 and N2O flow
流体连接器端口
Legris
Legris
Generic
电源电压
14 - 26.4
14 - 26.4 V
平均供应电流
35000
35000 uA
最大供应电流
50000
50000 uA
接口
Device net, RS485
设备网,RS485
尺寸 (长x宽x高)
105 x 38.5 x 90.5
105 x 38.5 x 90.5 mm³

技术文档下载

名称 类型 日期 文件 规模
Datasheet SFC5500/SFM5500

02/2024

File

975.3 KB

数据表 02/2024 PDF 975.3 KB
Compatible fittings SFC5500/SFM5500

10/2022

File

193.4 KB

应用说明 10/2022 PDF 193.4 KB
STEP file SFM5500-50sccm/0.5slm/2slm/10slm

10/2022

File

3.4 MB

CAD 10/2022 STEP 3.4 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

File

1.1 MB

查看器软件 04/2022 ZIP 1.1 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

File

869.9 KB

应用说明 07/2023 PDF 869.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

File

293.7 KB

应用说明 09/2021 PDF 293.7 KB
Reference and flow conversions calculator

10/2021

File

30.3 KB

应用说明 10/2021 XLSX 30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

02/2022

File

665.2 KB

应用说明 02/2022 PDF 665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

File

369.3 KB

用户指南 09/2021 PDF 369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

File

1002.3 KB

用户指南 07/2022 PDF 1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

File

796.4 KB

用户指南 03/2023 PDF 796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.3 MB

用户指南 03/2022 PDF 1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

Link

-

软件 03/2022 链接 -
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

File

-

软件 06/2022 文件 -
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.7 MB

软件 03/2022 ZIP 1.7 MB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

02/2024

File

88.9 KB

证明书 02/2024 PDF 88.9 KB
Mass flow controllers brochure chinese

02/2024

File

606.2 KB

传单 02/2024 PDF 606.2 KB
Overview of Sensirion gas flow meters

01/2024

File

1013.9 KB

传单 01/2024 PDF 1013.9 KB

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