SFC5330

小型质量流量控制器（成本敏感，大批量OEM应用）

满量程流速

0.2%FS or 2% SP

满量程流速

50, 100, 200 和500 sccm

封装尺寸 (长x宽x高)

34 x 25 x 62.2 mm³

SFC5300

质量流量控制器（成本敏感、大批量OEM应用）

满量程流速

1, 2, 5 和10 slm

0.2%FS or 2% SP

满量程流速

50, 100, 200 和500 sccm

封装尺寸 (长x宽x高)

48 x 25 x 79.5 mm³

EK-F5xxx only

SFC5xxx质量流量控制器和SFM5xxx质量流量计的评估套件

SFC3000 nrnd

旧版SFC5300质量流量控制器

±0.2sccm ± 2% SP

封装尺寸 (长x宽x高)

70 x 25 x 73 mm³

SFC4000 淘汰

旧版SFC5400质量流量控制器

满量程流速

1, 2, 5 和10 slm

0.2%FS or 2% SP

封装尺寸 (长x宽x高)

105 x 38.5 x 90.5 mm³

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