光刻胶涂覆剂量
精确光刻胶涂覆剂量
精确剂量
Sensirion液体流量传感器可测量光刻胶的微小电流，从而在半导体制造过程中实现精确的光阻材料定量。
持续监测
实时测量功能实现对制造过程的持续监测。可精准检测制造过程中的质量变化，也可通过早期干预措施预防制造错误。
专为半导体设计
传感器适用于半导体应用，可满足兼容性、质量以及可靠性等所有要求。
Sensirion如何设计解决方案
用于先进设备
全球半导体领先企业在生产的旋涂机中使用我们的液体流量传感器进行光刻胶定量和监测。
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