应用

Sensirion传感器解决方案帮助现代半导体行业以超高的精度和可靠度完成制作过程,提高产量、减少过剩和浪费、降低成本。

半导体

光刻胶定量: 精确光刻胶涂覆剂量

在半导体行业中,将光刻胶精确地涂覆在晶圆上至关重要。剂量不足会导致产量损失,过多则导致成本增加。
半导体

表面涂覆/处理: 控制速度快,动态量围广

真空沉积和深反应离子刻蚀(DRIE)等现代半导体加工工艺需要对各种气体进行快速控制。我们的质量流量控制器能够非常快速地控制/切换工艺气体并同时保证质量。

我们的专长

DRIE

多年来,DRIE半导体处理行业的领先供应商一直采用Sensirion质量流量控制器。

全球

全球领先的半导体公司将我们的液体流量传感器用于光刻胶定量。

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