SFM4xxx 用于气体混合应用的耐压流量传感器 不同流量范围,最高可达160slm 对不同气体(空气、N₂、O₂、N₂O、CO₂)进行校准 一次性版本(SFM3xxx-D);可重复使用版本(SFM3xxx-AW) 17 产品